一、設(shè)備名稱：硅片氣氛保護(hù)輥道爐

二、設(shè)備用途：主要生產(chǎn)硅片(156x156x0.2mm)氧化性無塵生產(chǎn)實驗

三、主要技術(shù)參數(shù)

3.1爐膛尺寸：1380×500×100(L×W×H)mm

3.2外形尺寸：1980×1500×1100(L×W×H)mm

3.3額定溫度：1300℃

3.4工作溫度：1000℃

3.5控溫精度：≤±2℃

3.6爐內(nèi)溫差:≤±5℃

3.7爐外溫度：≤±40℃

3.8控溫組數(shù)：3溫區(qū)3個控溫表

3.9工作速度：全窯按5min計算，400mm/min，

3.10調(diào)速范圍：120～700mm/min，

3.11加熱方式：電加熱，爐內(nèi)的上部安裝

3.12加熱元件：硅碳棒,上部安裝

3.13加熱功率：36 KW

3.14保溫功率：25KW

3.15加熱長度：1080mm

3.16爐襯材質(zhì)：整條設(shè)備爐內(nèi)采用剛玉材質(zhì)作為爐膛

3.17保溫材料：輕質(zhì)保溫磚和纖維棉

3.18保溫層次:底部330mm，兩側(cè)面各350mm,爐頂400mm

3.19控制柜：獨立全自動控制

3.20設(shè)備結(jié)構(gòu)：共1段

3.21冷卻方式：自然冷卻

3.22輸送方式：45°斜齒輪傳動

3.23速度控制：無極變頻控制

3.24進(jìn)氣類別：氮氣和氧氣