1、設(shè)備結(jié)構(gòu)：主要由窯體、氣氛控制系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)和傳輸系統(tǒng)組成。
2、窯體結(jié)構(gòu)：
a)分成過渡、加熱、降溫和冷卻區(qū)，爐膛內(nèi)輥道采用碳化硅制品，進(jìn)出口輥道采用金屬軸陶瓷輥道，爐體外密封設(shè)計(jì)
求。
b)爐膛全部采用輕質(zhì)莫來石耐火磚拱形結(jié)構(gòu)砌筑而成,外層為普通纖維制品。
c)廢氣排放：升溫段設(shè)置有排煙囪，手閥控制廢氣排放，保證爐膛內(nèi)部氣氛為正壓。
d)降溫區(qū)：不布置溫區(qū)，在該段爐膛頂/底部開有許多小孔，大量氮?dú)馔ㄟ^小孔吹入爐膛，對(duì)匣缽和工件進(jìn)行降溫。
e)水冷段：為多節(jié)蛇形水道鋼制水套。利用水冷換熱進(jìn)行降溫。水套底部設(shè)有進(jìn)氣氣盒，可以輔助降溫冷卻。
f)氣氛密封：加熱倉與傳動(dòng)倉獨(dú)立密封，進(jìn)出口密封閘門結(jié)構(gòu)，有效保證氧含量＜10ppm，氣氛輥道爐專門設(shè)計(jì)了單獨(dú)
正對(duì)每根輥棒端頭安裝有氮?dú)鈬娮?，直接氣吹冷卻輥棒兩端，同時(shí)密封腔內(nèi)的氮?dú)鈴妮伆舭惭b孔的間隙壓入爐膛內(nèi)，一
預(yù)熱，另一方面由于正壓作用，有效防止棒孔散熱。
g)加熱：加熱元件為石英內(nèi)穿絲管，加熱元件均勻布置在爐膛上下方，左中右3點(diǎn)比例控制，分別檢測(cè)控制爐膛寬度的
域，實(shí)現(xiàn)溫度高均勻性，采用鐵鉻鋁合金加熱絲，高表面負(fù)荷，高電阻率，高壽命。
